| 6寸探針臺T-150M（緊湊型） |
| 用于1~6寸晶圓，批次小器件，單個芯片或MEMS等器件電學(xué)性能測試。 |
| 應(yīng)用場景：I/V曲線測試，C/V測試，射頻S參數(shù)測試等； |
| 儀器搭配：數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。 |
| 樣品臺X-Y位移范圍：100mm*90mm(雙層：粗調(diào)+精細(xì)微調(diào)) |
| 高清解析，可選升降金相顯微鏡。 |
| 用于實驗室芯片驗證，失效分析，產(chǎn)線射頻芯片S參數(shù)測試等。 |
