| T系列6寸探針臺 |
| 探針臺主體 |
T-150M |
T-150H |
T-150 |
T-150L |
T-150G |
| 名稱 |
6寸緊湊型探針臺 |
6寸高溫探針臺 |
6寸常規(guī)探針臺 |
6寸鐳射探針臺 |
6寸氣浮探針臺 |
| ?卡盤大小 |
6英寸 |
| 卡盤X/Y位移范圍 |
6英寸*6英寸（152mm*152mm） |
| 卡盤材質(zhì) |
合金/鍍鎳/鍍金/絕緣陶瓷等 |
| 卡盤溫控 |
可選常溫~200℃/300℃/400℃ |
| 樣品固定方式 |
真空吸附（可選：彈簧壓片、卡槽固定等） |
| 一桿抬針功能 |
一桿抬針功能（探針預(yù)接觸功能）0~0.34mm高度均可懸停（可選） |
| 臺面升降 |
0~50mm（可選） |
| 卡盤升降 |
0~10mm微調(diào) |
| 高度顯示 |
帶下針高度顯示（可選） |
| 探針座數(shù)量 |
可放置6~8個探針座 |
| 探針臺尺寸 |
520mm *578mm *600mm |
610毫米*590毫米*600毫米（長*寬*高） |
| 顯微鏡類型 |
體式顯微鏡、同軸光顯微鏡、金相顯微鏡（可選） |
| 放大倍率 |
8X~50X/100X/200X/500X/1000X（可選） |
| X/Y位移范圍 |
±25毫米（可選） |
| 光源 |
環(huán)形光源/同軸光源/冷光源（可選） |
| 工業(yè)相機(jī) |
可選高清1080P/720P；帶拍照、錄像、測量功能? |
| 探針底座 |
MP-150/MP-180/MP-200 |
| 固定類型 |
磁性吸附、真空吸附(可選) |
| 移動精度 |
0.7um/0.5um/0.35um |
| 傾斜角度 |
角度0~30°精細(xì)微調(diào) |
| 探針夾具 |
同軸探針夾具（可選）射頻探針機(jī)構(gòu)、進(jìn)口三軸探針夾具 |
| 測試頻率 |
dc~100MHz/1GHz/40GHz/50GHz/67GH/110GHz（可選） |
| 漏電精度 |
約10pA（進(jìn)口三軸探針夾具，約100fA） |
| 接頭類型 |
同軸接頭（可選：SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三軸接頭、香蕉插頭） |
| 探針針尖半徑 |
0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可選) |
| 探針材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅（可選鍍金） |
| 光學(xué)隔震平臺 |
阻尼隔震式/氣浮隔震式(可選) |
| 平臺大小（L*W*H） |
700毫米*700毫米*800毫米（長*寬*高） |
| 屏蔽箱 |
PBX-6，適用6寸探針臺(可選) |
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以上參數(shù)僅供參考，購買以實際為準(zhǔn)。 |