8寸高端氣浮探針臺T-200G |
用于1~8寸晶圓,批次小器件,單個芯片或MEMS等器件電學性能測試。 |
應(yīng)用場景:I/V曲線測試,C/V測試,射頻S參數(shù)測試等; |
特點優(yōu)勢:高穩(wěn)定性,易用性。采用Air Bearing Stage技術(shù)增強功能。 |
用于實驗室芯片驗證,失效分析,產(chǎn)線射頻芯片S參數(shù)測試等。 |
儀器搭配:數(shù)字源表、半導體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。 |
可升級高溫測試功能; |