6寸鐳射探針臺T-150L |
搭配進口鐳射激光系統(tǒng),波長:1064 nm、 532 nm、 355 nm可選。 |
應用場景:失效分析,集成電路修調(diào),燒蝕絕緣層后探測內(nèi)部電信號; |
具備多種工作模式:單次、連續(xù) (1 Hz)、多個脈沖;功率連續(xù)可調(diào)。 |
切割尺寸:1μm x 1μm;50μm x 50μm(在50X物鏡下) |
顯微鏡光學倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(UV鏡頭可選) |
可對單個芯片,MEMS,液晶面板,1~6寸晶圓進行處理。 |