| 多功能光電探針臺(tái)G-150 | ||
| ?載物臺(tái)大小 | 方形：90mm*90mm/80mm*80mm (可定制其他尺寸) | |
| ?載物臺(tái)X/Y位移 | 25mm*25mm-滑槽行程：45mm | |
| ?載物臺(tái)升降 范圍 | 0~10mm | |
| ?載物臺(tái)旋轉(zhuǎn) | ±5°(粗細(xì)微調(diào)) | |
| ?載物臺(tái)表面材質(zhì) | 鍍金、鍍鎳、鍍鉻、絕緣陶瓷 | |
| 耦合/接收 方式 | 水平耦合/垂直耦合/傾斜任意角（等） | |
| 針座擺放數(shù)量 | 2~3個(gè)（可加載探卡） | |
| 溫控范圍 | 室溫至100℃/150℃/200℃/300℃ （選配） | |
| 樣品固定方式 | 真空吸附、吸附孔搭配吸附槽 | |
| 顯微鏡系統(tǒng)數(shù)量 | 俯視顯微鏡+側(cè)視顯微鏡 | |
| 探針臺(tái)尺寸 | 500毫米*410毫米*550毫米（長(zhǎng)*寬*高） | |
| 顯微鏡類(lèi)型 | 同軸顯微鏡 （標(biāo)配） | 體式顯微鏡 |
| 最大倍率 | 150X | 50X~100X |
| 顯微鏡X/Y位移 | 俯視顯微鏡/側(cè)視顯微鏡：25mm*25mm | |
| 光源 | LED光源、同軸光源 | |
| 工業(yè)相機(jī) | 高清1080P/720P；帶拍照、錄像、測(cè)量功能 | |
| 探針座 | 射頻探針座MP-150R/MP-180R/MP-200R/MP-300mmW | |
| 固定類(lèi)型 | 磁性吸附（標(biāo)配）/螺絲固定 | |
| 移動(dòng)精度 | ±0.7um/±0.5um （導(dǎo)程/360/2） | |
| 光纖耦合臺(tái) | 標(biāo)配5軸多功能光纖耦合臺(tái)，支持單模/多模光纖 | |
| 探針夾具 | 射頻探針裝置 （支持探針頻率：dc~500GHz) | |
| 漏電精度 | 約100fA | |
| 接頭類(lèi)型 | SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、波導(dǎo)接口 | |
| 探針針尖半徑 | 0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可選) | |
| 探針材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅/鍍鎳 | |
| 光學(xué)隔震平臺(tái) | 阻尼隔震式、氣浮隔震式(可選) | |
| 平臺(tái)大小 | 700毫米*700毫米*700毫米（長(zhǎng)*寬*高） | |
| 以上參數(shù)僅供參考，購(gòu)買(mǎi)以實(shí)際為準(zhǔn)。 | ||