| 8寸高/低溫探針臺T-200HC |
| ?卡盤（CHUCK）大小 |
8英寸/6英寸/4英寸/2英寸(可選) |
| 卡盤X/Y位移 |
8英寸*8英寸 |
| 卡盤升降 (大范圍升降) |
50mm |
| 卡盤旋轉(zhuǎn) |
±5°(粗細微調(diào)) |
| 卡盤表面材質(zhì) |
鍍金、鍍鎳、鍍鉻、絕緣陶瓷 |
| 制冷方式 |
液氮制冷--標配 /壓縮機制冷--選配 |
| 溫控范圍 |
-60℃/-55℃至100℃/150℃/200℃/300℃ |
| 樣品固定方式 |
真空吸附、吸附孔搭配吸附槽 |
| 探針座數(shù)量 |
可放置8個針座（可加載探卡） |
| 探針臺尺寸 |
670毫米*775毫米*850毫米（長*寬*高） |
| 顯微鏡類型 |
同軸顯微鏡 （標配） |
體式顯微鏡 |
金相顯微鏡 |
| 最大倍率 |
150X |
50X~100X |
200X/500X/1000X |
| 顯微鏡X/Y位移 |
50mm*50mm |
| 光源 |
LED光源、同軸光源、冷光源 |
| 工業(yè)相機 |
高清1080P/720P；帶拍照、錄像、測量功能 |
| 探針座 |
射頻探針座MP-150R/MP-180R/MP-200R/MP-300mmW |
直流探針座MP-150/MP-180 |
| 固定類型 |
磁性吸附/螺絲固定 |
| 移動精度 |
±0.7um/±0.5um （導程/360/2） |
| 傾斜角度 |
最大30°精細微調(diào)，微分頭調(diào)節(jié) |
| 探針夾具 |
射頻探針裝置 （支持探針頻率：dc~500GHz) |
三軸探針夾具 |
| 漏電精度 |
約100fA |
約100fA |
| 接頭類型 |
SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、波導接口 |
三軸接頭（公） |
| 探針針尖半徑 |
0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可選) |
| 探針材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅/鍍鎳 |
| 光學隔震平臺 |
阻尼隔震式、氣浮隔震式(可選) |
| 平臺大小 |
1000毫米*1000毫米*700毫米（長*寬*高） |
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以上參數(shù)僅供參考，購買以實際為準。 |