| 高真空/高低溫探針臺(tái)系列 |
| ?????????????????? ?型號(hào) |
T-CV4 |
T-CV6 |
| 技術(shù)參數(shù) |
| 真空臺(tái)體 |
載物臺(tái)尺寸 |
1英寸、2英寸、4英寸， 6英寸(可選)； |
| 載物臺(tái)材質(zhì) |
金屬/鍍金/鍍鎳等 |
| 真空度 |
10-1Torr/10-5Torr/10-6Torr |
| 探針臂數(shù)量 |
4套 |
6套 |
| 探針位移范圍X (Max) |
25mm/50mm |
| 探針位移范圍 |
7mm/12mm/15mm（可定制） |
| Y/Z(最大) |
| 樣品固定 |
卡槽固定，或彈簧壓爪 |
| 真空泵組 |
機(jī)械泵/分子泵組（可選） |
| 電信號(hào)接口 |
同軸Triaxial，SMA,BNC,RF接口可選 |
| 控溫系統(tǒng) |
制冷源 |
液氮、制冷機(jī) |
| 控溫范圍 |
-196℃/-100℃/-60℃至150℃/200℃/300℃(可選)； |
| 溫度精度 |
0.1℃分辨率/0.5℃分辨率 |
| 溫度穩(wěn)定性 |
±0.1℃/±0.5℃(1~3寸) |
| 溫度均勻性 |
±0.25℃（2寸）/±0.5℃（3寸） |
±0.5℃/±1℃/±1.5℃（6寸） |
| 配套顯微鏡 |
光學(xué)放大倍率 |
8X-50X/100X/200X/400X |
| 調(diào)節(jié)范圍 |
X、Y軸行程25 mm，Z軸行程50mm |
| 光源類(lèi)型 |
外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
| CCD相機(jī) |
200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素（可拍照，錄像、測(cè)量） |
| 探針夾具 |
線(xiàn)纜 |
同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn) |
| 漏電精度 |
10pA/100fa? |
| 固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類(lèi)型 |
同軸Triaxial，SMA,BNC,RF接口可選 |
| 探針 |
類(lèi)型 |
I/V探針，開(kāi)爾文探針，微波探針 |
| 針尖直徑 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 材質(zhì) |
鎢合金/鈹銅 |
| 外形 |
約700mm長(zhǎng)*700mm寬*650mm高 |
約900mm長(zhǎng)*800mm寬*700mm高 |
| 重量 |
約100千克 |
約115千克 |
| 可選附件 |
探針卡、自動(dòng)供液氮系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)、隔震臺(tái)、探針卡夾具、射頻測(cè)試組件 |
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以上參數(shù)僅供參考，購(gòu)買(mǎi)以實(shí)際為準(zhǔn)。 |